某微電子工廠生產(chǎn)高端集成電路芯片，需要在高潔凈度的環(huán)境中進(jìn)行光刻、蝕刻、擴(kuò)散、離子注入等工序。由于這些工序?qū)諝庵械姆蹓m、細(xì)菌、有機(jī)物等污染物非常敏感，一旦受到污染，就會影響芯片的性能和可靠性，造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。因此，該工廠需要在生產(chǎn)區(qū)域建立一個潔凈室，以保證空氣中的污染物含量和溫濕度等參數(shù)達(dá)到嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。

然而，建立一個潔凈室是非常昂貴和復(fù)雜的，需要大量的投資、設(shè)備、人員和能源。而且，并不是所有的工序都需要同樣高級別的潔凈度，有些工序只需要局部高潔凈環(huán)境，而不需要整個房間都達(dá)到高潔凈度。為了解決這個問題，該工廠決定采用潔凈棚來提供局部高潔凈環(huán)境。

潔凈棚是一種能夠提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備，它可以快速、方便地建立一座簡易的無塵室，適用于各種局部高潔凈度場合。潔凈棚具有結(jié)構(gòu)靈活、性能可靠、效果顯著、成本節(jié)省等優(yōu)點，是微電子工業(yè)理想的凈化設(shè)備選擇。

該工廠根據(jù)不同的工序和需求，定制了不同類型和規(guī)格的潔凈棚，包括垂直單向流潔凈棚、水平單向流潔凈棚、非單向流潔凈棚等。這些潔凈棚可以根據(jù)現(xiàn)場情況進(jìn)行組裝和拆卸，方便調(diào)整和移動。這些潔凈棚內(nèi)部都安裝了風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU），可以將空氣過濾并送入潔凈棚內(nèi)，形成單向流或非單向流的高潔凈空氣流場。FFU可以根據(jù)不同的需求選擇不同的過濾效率和風(fēng)量，一般采用高效或超高效過濾器。

在光刻工序中，該工廠采用了垂直單向流潔凈棚，可以有效地防止粒子、分子和靜電等污染物對芯片的影響。該工廠使用了美埃（中國）環(huán)境科技股份有限公司提供的ME-FFU-1型風(fēng)機(jī)過濾器單元，該型號具有以下特點：

1、 風(fēng)機(jī)采用無刷直流電機(jī)驅(qū)動，具有低噪音、低振動、低能耗、長壽命等優(yōu)點。

2、過濾器采用超高效玻璃纖維濾紙制作，具有高過濾效率、低阻力、大風(fēng)量等優(yōu)點。

3、機(jī)體采用鋁合金材料制作，具有輕巧、堅固、耐腐蝕等優(yōu)點。

4、機(jī)體表面采用靜電噴涂處理，具有美觀、防靜電等優(yōu)點。

5、機(jī)體內(nèi)部設(shè)有風(fēng)速調(diào)節(jié)器，可以根據(jù)需要調(diào)節(jié)風(fēng)速和風(fēng)量。

在蝕刻、擴(kuò)散、離子注入等工序中，該工廠采用了水平單向流潔凈棚，可以有效地防止塵埃、細(xì)菌和有機(jī)物等污染物對芯片的影響。該工廠使用了清新凈化設(shè)備（深圳）有限公司提供的QX-FFU-2型風(fēng)機(jī)過濾器單元，該型號具有以下特點：

6、風(fēng)機(jī)采用交流電機(jī)驅(qū)動，具有高效率、穩(wěn)定性、可靠性等優(yōu)點。

7、過濾器采用高效玻璃纖維濾紙制作，具有高過濾效率、低阻力、大風(fēng)量等優(yōu)點。

8、機(jī)體采用冷軋鋼板材料制作，具有結(jié)實、耐用、防銹等優(yōu)點。

9、機(jī)體表面采用烤漆處理，具有美觀、防靜電等優(yōu)點。

10、機(jī)體內(nèi)部設(shè)有差壓表，可以顯示過濾器的使用狀態(tài)和更換時間。

通過使用潔凈棚，該工廠成功地提供了局部高潔凈環(huán)境，保證了芯片的生產(chǎn)質(zhì)量和安全性。與建立一個潔凈室相比，該工廠節(jié)省了大量的投資、設(shè)備、人員和能源，降低了生產(chǎn)成本和運行費用。同時，該工廠也提高了生產(chǎn)效率和靈活性，適應(yīng)了微電子技術(shù)的不斷發(fā)展和創(chuàng)新。該工廠的負(fù)責(zé)人表示，潔凈棚是微電子工業(yè)理想的凈化設(shè)備選擇，為微電子工業(yè)的發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。